特点:位移范围:40um-80um 闭环分辨率:0.4nm-0.8nm 响应时间:0.06ms-0.08ms 驱动电压更低
位移范围:40um-80um
闭环分辨率:0.4nm-0.8nm
响应时间:0.06ms-0.08ms
驱动电压更低